高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子枪提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接质量。电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性,技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，同时重复性要求小于0.5%。以上要求均根据电子束斑和焊接工艺所决定。

高频高压电源是相对于工频高压电源和中频高压电源而言的。高频高压电源是一种高压开关电源，其开关频率大约在50kHz左右，中频在2kHz左右，工频为50/60Hz，高频高压电源由于频率高，变压器可以做得很小。高频高压电源的优点是：体积小，精度高，动态响应快，技术含量高，随着原材料价格的飞涨和技术发展，高频高压电源在价格上越来越具优势。实际上工频高压电源在发达国家已经淘汰。

1、高频电源的转换效率高

单相直流电源的输出功率与输入功率之比的转换效率低于70%，三相高频高压直流电源输出功率与输入功率之比的转换效率达到95%，可提高转换效率25%，大大减少电网供电的负荷空损率，有利于节约能源。

2、输入供电平衡

三相高频直流电源输入采用三相供电，每相输入的电流相等，输入供电平衡，输入的电流小；单相高压直流电源采用单相供电，相对输入的电流大，无法保证三相供电的平衡。如：以800mA/72KV 的高压电源为例：

三相的一次电流为：92A；

单相的一次电流为：248A；

减少初级供电电流：50%以上

3、输出的直流平均电压高

单相电源输出的电压脉动范围大于25%，线性度差，容易出现阻抗不匹配，极易触发火花放电，造成电晕电流低，难以提高除尘效率；

三相高频电源输出的电压波动小于5%，其直流平均电压接近峰值电压，线性度好，施加到电除尘器上的直流电压比单相电源要高得多，从而提高除尘效率。